从MEMS到微纳制造与微纳传感器
李铁   
报告人照片   李铁,中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员。1992、1997年在中国科学技术大学分获学士、博士学位。目前研究领域为微纳传感器机理、器件及应用基础研究。承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中科院项目等国家省部级项目20余项。现任科技委主题专家、上海市传感技术学会副理事长、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术专业委员会委员、APCOT国际会议督导委员会委员、IEEE MEMS、MARSS、DTIP国际会议TPC成员等职。在硅纳米线制造及器件、纳米效应表征、红外热电堆及红外气体模块应用等方面开展了系统研究工作。已在Nano Letters、Small、Carbon、IEEE EDL、IEEE MEMS等刊物上发表论文160余篇,获发明专利授权36项。获国家技术发明二等奖、上海市技术发明二等奖、上海市科技进步二等奖、美国汽车电子学会(SAE)Arch T. Colwell Merit 奖。2015年入选上海市优秀学术带头人。
  MEMS技术一个显著的特点是工艺具有高度的选择性,基于工艺的选择性,已经发展出一系列MEMS制造技术,使得MEMS传感器的性价比大幅度提高,在手机、汽车、医疗和消费领域得到广泛应用。同样,基于MEMS的工艺选择性,也可以发展出纳米制造技术。我们将介绍基于MEMS的微纳制造新方法,回顾作者利用建立的制造方法研制的超高灵敏微纳传感器及其应用。
报告时间:2017年06月05日09时00分    报告地点:北区微纳中心会议室
报名截止日期:2017年06月05日    可选人数:30